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關(guān)于光譜干涉式晶圓測(cè)厚儀SF-3的特征及用法

更新時(shí)間:2023-04-14      瀏覽次數(shù):614

特征

  • 通過(guò)光學(xué)方法可以進(jìn)行非接觸式和非破壞性的厚度測(cè)量。

  • 實(shí)現(xiàn)高測(cè)量再現(xiàn)性

  • 可實(shí)時(shí)高速監(jiān)控拋光

  • 實(shí)現(xiàn)了長(zhǎng) WD(工作距離)并且易于集成到設(shè)備中

  • 從主機(jī)設(shè)備使用 LAN 通過(guò) TCP/IP 通信進(jìn)行控制

  • 可以進(jìn)行多層厚度測(cè)量

  • 可測(cè)量臨時(shí)晶圓(臨時(shí)鍵合晶圓)各層厚度

用法

  • 各種晶圓(硅、其他化合物晶圓)的厚度測(cè)量

  • 融入各種工藝,如研磨、拋光、粘合等。

  • 晶圓以外的厚膜部件厚度測(cè)量

  • 300 毫米晶圓測(cè)繪系統(tǒng)

  • 通過(guò)對(duì)準(zhǔn)精細(xì)圖案提供晶圓厚度和各種厚度信息

  • 配備高精度XY定位平臺(tái)(±2μm以下),實(shí)現(xiàn)高精度定位

  • 可以處理晶圓以外的形狀

  • 可以檢查測(cè)量點(diǎn)周圍的視野

  • 對(duì)應(yīng)半導(dǎo)體用300mm晶圓

  • 與 MEMS 和傳感器設(shè)備兼容


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