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更新時間：2023-05-05 
瀏覽次數(shù)：467快速穩(wěn)定的控制
車載氣體轉換模型
嵌入了 22 種特的氣體
多參數(shù)輸出：質量流量、溫度和壓力
USB-C 和藍牙通信
FLEXI-FLOW 緊湊型質量流量/壓力控制器適用于在真空和 17 bar(a) 之間的工作壓力下精確測量和控制 0…500 ml n /min 和 0…20 l n /min 之間的流量范圍。該儀器將基于毛細管 MEMS 技術的快速穩(wěn)定的熱質量流量傳感器與精確且經(jīng)過驗證的旁路結構相結合。由于特的國際專，精確的質量流量測量得以建立，幾乎不受溫度和管線壓力變化的影響。結合集成溫度和上游和下游壓力傳感器，22 種氣體的嵌入式數(shù)據(jù)庫可實現(xiàn)精確的機載轉換。多參數(shù)儀器為用戶提供有用的過程信息。
FLEXI-FLOW 緊湊型質量流量/壓力控制器目前有 3 種型號可供選擇：
“高級預配置"(PA)，量程比 1:500，流量 + 溫度 + 上游和下游壓力，4 個流量范圍（FS，基于 N 2）：
FF-A500 型 - 500 ml n /min
FF-A2K0 型 - 2 l n /min
FF-A5K0 型 - 5 l n /min
FF-A20K 型 - 20 l n /min
“預配置標準"(PS)，量程比 1:50，流量 + 溫度，4 個流量范圍（FS，基于 N 2）：
FF-S500 型 - 500 ml n /min
FF-S2K0 型 - 2 l n /min
型FF-S5K0 - 5 升/分鐘
FF-S20K 型 - 20 升/分鐘
“按訂單制造"(BtO)，調節(jié)比 1:1000；在 0.5 和 20 l n /min（FS，基于 N 2）之間自由選擇范圍，
FF-C10 型：流量 + 溫度
FF-C11 型：流量 + 溫度 + 上游和下游壓力；
BtO 模型也可用于配置多達 8 個通道的多通道版本。
| 測量/控制系統(tǒng) | |
|---|---|
| 流量范圍（可提供中間范圍） | 分鐘。 最大0…500 ml n /min 0…20 l n /min （以 N 2計） |
| 壓力范圍 | PA：0...17 bar(a) PS：不可用 BtO：FF-C10：不可用 / FF-C11：0...17 bar(a) |
| 精度（包括線性度）（基于實際校準） | PA：±0.8% Rd + ±0.2% FS (N 2 /Air/O 2 )； PS：±1.5% Rd + ±0.5% FS (N 2 /Air/O 2 ); BtO：高達 ±0.5% Rd 加上 ±0.1% FS (N 2 /Air/O 2 )； 對于其他氣體增加轉換不確定性；查看多氣體表； |
| 重復性 | 流量傳感器：< ±0.2% Rd； 壓力傳感器：< ±0,2% FS |
| 調節(jié)比 | PS：1:50 PA：1:500 BtO：高達 1:1000 |
| 最大限度。運營壓力 | 16巴克 |
| 多氣體/多范圍 | 以及這些氣體的任何混合物的嵌入式氣體數(shù)據(jù) |
| 穩(wěn)定時間（受控，典型） | < 150 毫秒 |
| 長期穩(wěn)定性 | < 0.5% 滿量程 3 年；然后 < 0,2% FS 每年 |
| 控制穩(wěn)定性 | < ± 0,1% FS（1 l n /min N 2 的典型值） |
| 工作溫度 | 0 … 50攝氏度 |
| 儲存/運輸條件 | -20 … +80 °C，最大值 95% RH（非冷凝） |
| 安裝 | 任意位置，姿態(tài)敏感度可忽略不計 |
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