緊湊型膜厚監控儀是一種反射分光光度計，使用小型反射探頭，適用于從實驗室
水平到生產過程中在線100%檢測的所有情況。它具有出色的可維護性，可用于過
程設備和生產線管理。
最多可同時測量9種類型的透明薄膜。
它可用作各種多層薄膜工藝的在線或終點監控器。
緊湊型探針可以安裝在加工工具內部的小空間中。還可以通過使用EMA理論來判
斷混合層的混合比或多晶硅的結晶度。
1小型光纖探頭[*1] 2 膜厚測定再現性0.1nm以下（3σ）[*2]
6 無線對應（選配件）[*6] 7 透射率測量（可選）[*7] 8
自動映射測量（可選）[*8] 采用 30 mm 的小型探頭，可安裝在設備內的狹
小空間內。 而且，由于探頭到本體只用光纖連接，具有優異的耐環境性。 4 膜質解
析功能 [*4] ·通過有效介質近似（EMA）方法計算混合比 ·結晶性評估，光學常數解
析 5 根據目的選擇光源
波長范圍 (nm) 430～700 400～900 220～900 對象膜厚范圍 (nm) 50 ～ 50,000 50 ～
50,000 10 ～ 30,000 平均壽命 (Hour) ＞50,000 10,000 1,000 光源式樣 白色 LED 鹵鎢燈
氘·鹵素 3 多層膜同時測
更新時間：2023-12-08 
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