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日本takano 晶圓表面檢測設備WM系列的產品介紹

更新時間：2024-08-08      瀏覽次數：508

WM系列規格

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無圖案300mm晶圓表面檢測系統

WM-10R是300mm晶圓的標準型號

是48nm的高靈敏度檢測系統。

WM - 10R is a standard model of 300 mm wafer.It is a high sensitivity inspection system of 48 nm.





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2.png200mm以下無圖案晶圓表面檢測系統


WM-7系列是200毫米晶圓尺寸以下最的合理的高性能型號。

WM - 7 series is the most reasonable high - performance model below 200 mm wafer size.






1. 獨的創高靈敏度光學系統

  • WM-10R 有 2 軸粒子入射角。

  • WM 系列有 2 個寬數值孔徑鏡頭，用于高靈敏度檢測。

2. 高分辨率 XY 位置螺旋掃描

  • WM系列是帶轉速控制的螺旋掃描方式。

  • XY-數據發送到 EB 審查設備，然后可以通過輕松對齊進行審查。


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