napson電阻測量儀電阻計熱電阻電阻率

napson電阻測量儀電阻計熱電阻電阻率NC-80MAP的介紹
多種非接觸式探頭的寬量程電阻測量儀
（可根據(jù)要求更改探頭數(shù)量和探頭類型）
可從 8mm 邊緣進行多點測量
非接觸式渦流法可實現(xiàn)無損傷測量
測量模式可編程和 2-D/3-D 映射軟件
*選項：額外安裝晶圓厚度測量探頭

產品型號：NC-80MAP
廠商性質：經(jīng)銷商
更新時間：2023-04-15
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napson電阻測量儀電阻計熱電阻電阻率NC-80MAP的介紹

多種非接觸式探頭的寬量程電阻測量儀
（可根據(jù)要求更改探頭數(shù)量和探頭類型）
可從 8mm 邊緣進行多點測量
非接觸式渦流法可實現(xiàn)無損傷測量
測量模式可編程和 2-D/3-D 映射軟件
*選項：額外安裝晶圓厚度測量探頭

測量規(guī)格

測量對象

半導體/太陽能電池材料（硅、多晶硅、SiC等）
新材料/功能材料（碳納米管、DLC、石墨烯、銀納米線等）
導電薄膜（金屬、ITO等）
硅基外延、 ion Injection sample
化合物半導體相關（GaAs Epi、GaN Epi、InP、Ga等）
其他（*請聯(lián)系我們）

測量尺寸

2 至 8 英寸
（可選；12 英寸）

測量范圍

[電阻率] 1m 至 200 Ω?cm
（*所有探頭類型的總范圍/當厚度為 500um 時）
[薄層電阻] 10m 至 3k Ω/sq
（*所有探頭類型的總范圍）

*請參閱以下各探頭類型的測量范圍。

(1) 低：0.01 ～ 0.5Ω/□ (0.001 ～ 0.05Ω-cm)
(2) 中： 0.5 ～ 10Ω/□ (0.05 ～ 0.5Ω-cm)
(3) 高：10 ～ 1000Ω/square (0.5 ～ 60Ω-cm)
(4) S-High : 1000 to 3000Ω/square (60 to 200Ω-cm)

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